多晶硅和石英玻璃的联合制备法

1 (p1): 1概述
1 (p1-1): 1.1传统生产方法简介
1 (p1-1-1): 1.1.1多晶硅的传统生产方法简介
3 (p1-1-2): 1.1.2石英玻璃的传统生产方法简介
5 (-1): 1.3多晶硅和石英玻璃联合制备法的优点
5 (-1-1): 1.3.1节约能源
6 (-1-2): 1.3.2环境保护
7 (-1-3): 1.3.3设备费用少
8 (-1-4): 1.3.4基建投资少
8 (-1-5): 1.3.5与氯碱工业联合对平衡问题和污染问题的解决
8 (-1-6): 1.3.6电子工业材料——多晶硅瓶颈问题的解决
9 (p2): 2主要产品
9 (p2-1): 2.1多晶硅
9 (p2-1-1): 2.1.1多晶硅的基本概念
10 (p2-1-2): 2.1.2多晶硅的主要用途
11 (-1): 2.2.1石英玻璃的基本概念
12 (-1-1): 2.2.2石英玻璃的品种
13 (-1-2): 2.2.3石英玻璃的主要用途
14 (-1-3): 2.2.4石英玻璃的析晶问题
15 (p3): 3纯度
15 (p3-1): 3.1纯度的概念
15 (p3-1-1): 3.1.1纯度概念的起源
15 (p3-1-2): 3.1.2纯度概念的发展
16 (-1): 3.2.1用百分比含量表示
16 (-1-1): 3.2.2用硼含量表示
17 (-1-2): 3.2.3用电阻率推算
17 (-1-3): 3.2.4用其他方法推算
18 (-1): 3.3.1四氯化硅和三氯氢硅的纯度要求
18 (-1-1): 3.3.2多晶硅的纯度要求
18 (-1-2): 3.3.3石英玻璃的纯度要求
19 (p4): 4基本原料
19 (p4-1): 4.1硅
19 (p4-1-1): 4.1.1硅的基本特性和用途
20 (p4-1-2): 4.1.2工业硅的生产方法
20 (p4-1-3): 4.1.3工业硅的质量标准
21 (-1): 4.2.1氢气的特性
21 (-1-1): 4.2.2氢气的用途
22 (-1-2): 4.2.3氢气的制备方法
22 (-1): 4.3.1氧气的特性
23 (-1-1): 4.3.2氧气的用途
23 (-1-2): 4.3.3氧气的制备方法
24 (-1): 4.4.1氯气的特性
24 (-1-1): 4.4.2氯气的用途
24 (-1-2): 4.4.3氯气的制备方法
25 (-1): 4.5.1氯化氢的特性
26 (-1-1): 4.5.2氯化氢的用途
26 (-1-2): 4.5.3氯化氢的制备方法
27 (-1): 4.6.1氮气的特性
27 (-1-1): 4.6.2氮气的用途
28 (-1-2): 4.6.3氮气的制备方法
29 (p5): 5中间产品
29 (p5-1): 5.1四氯化硅和三氯氢硅的基本特性
29 (p5-1-1): 5.1.1四氯化硅的基本特性
30 (p5-1-2): 5.1.2三氯氢硅的基本特性
30 (-1): 5.2.1四氯化硅的用途
31 (-1-1): 5.2.2三氯氢硅的用途
31 (-1): 5.3.1四氯化硅和三氯氢硅合成的反应方程式
32 (-1-1): 5.3.2四氯化硅和三氯氢硅制备的工艺流程简图
33 (-1-2): 5.3.3合成的主要设备
35 (-1): 5.4.1工业硅的选择与处理
36 (-1-1): 5.4.2对氯的处理
36 (-1-2): 5.4.3四氯化硅的合成工艺
38 (-1): 5.5.1工业硅粉的预处理
38 (-1-1): 5.5.2对氯化氢的处理
39 (-1-2): 5.5.3三氯氢硅的合成工艺
42 (p6): 6化学提纯法简介
42 (p6-1): 6.1常用术语
43 (p6-2): 6.2精馏的含义
44 (p6-3): 6.3精馏塔简介
44 (p6-3-1): 6.3.1精馏塔的种类
44 (p6-3-2): 6.3.2筛板塔和填料塔的构造简介
46 (-1): 6.4.1间断法
47 (-1-1): 6.4.2连续法
49 (-1-2): 6.4.3回流比的选择与控制
51 (p7): 7多晶硅的传统制备方法
52 (p7-1): 7.1四氯化硅和三氯氢硅的提纯
52 (p7-1-1): 7.1.1四氯化硅和三氯氢硅中的伴随物
53 (p7-1-2): 7.1.2四氯化硅和三氯氢硅的提纯
57 (-1): 7.2.1氢气的冷冻除湿
58 (-1-1): 7.2.2氢气的除氧
60 (-1-2): 7.2.3氢气的干燥
62 (-1-3): 7.2.4氢气的钯管（膜）净化法
62 (-1): 7.3.1四氯化硅的氢还原
63 (-1-1): 7.3.2三氯氢硅的氢还原
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