Лекции по технологии микро-электронных устройств
Рыжиков И.В.
МГУПИ, Россия, Рыжиков И.В., 2012 г., 113 стр.
История развития микро-электронных устройств.
Диэлектрические пленки.
Диффузия.
Методы эпитаксии.
Фотолитографический процесс.
Физико-химические основы процесса ионного легирования.
Плазмо-химическое травление и технология ИМС.
История развития микро-электронных устройств.
Диэлектрические пленки.
Диффузия.
Методы эпитаксии.
Фотолитографический процесс.
Физико-химические основы процесса ионного легирования.
Плазмо-химическое травление и технология ИМС.
Langue:
russian
Fichier:
PDF, 2.39 MB
IPFS:
,
russian0
Litres
Vous souhaitez ajouter une librairie ? Contactez-nous à support@z-lib.do
Convertissez des fichiers
Plus de résultats de recherche
Autres avantages 
