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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
Deutscher Universitätsverlag
Dieter Lipinsky (auth.)
si02
snms
si0
phys
bzw
sims
schichten
schicht
zerstäubungsgleichgewicht
abb
ti0
bild
oxide
tiefenprofilanalyse
sauerstoff
zr02
signale
zerstäubung
ti02
emission
daher
tab
bestimmung
oberfläche
zeigt
vergleich
grenzflächen
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zerstäubungsausbeute
messungen
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sekundärionen
deutlich
ionen
zeigen
empfindlichkeitsfaktoren
untersuchten
moleküle
werte
anteil
mehrfachschichtsystems
atome
instrum
mass
probe
wobei
schichtsysteme
ta20s
verhältnis
Année:
1995
Langue:
german
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german, 1995
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